愛德華渦旋干泵 nXDS20i

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關(guān)鍵詞：愛德華渦旋干泵

摘要

愛德華 nXDS20i 渦旋干泵：作為無油渦旋干泵標(biāo)桿，它極限真空達(dá) 1mTorr，抽速卓越且運行靜音，適配半導(dǎo)體、科研等精密真空場景。結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)便捷，兼具高效抽氣與超長壽命，為您的高要求真空制程提供穩(wěn)定、潔凈的真空環(huán)境，是高端真空應(yīng)用的理想之選。

產(chǎn)品介紹

渦旋干泵端面密封條：專為渦旋干泵設(shè)計的核心密封部件，采用耐真空、耐磨損的優(yōu)質(zhì)復(fù)合材料制成，可有效密封泵體端面，防止真空泄漏，保障泵的高真空性能與穩(wěn)定運行。適配多種型號渦旋干泵，安裝便捷，大幅提升設(shè)備氣密性與使用壽命，是真空系統(tǒng)維護(hù)與升級的可靠之選。

一、概述

nXDS20i 是下一代完全無油的干式渦旋泵，可在各種應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了最新的端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可完全進(jìn)行現(xiàn)場維修。

nXDS-C 泵是改進(jìn)型的 nXDS，適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)的泵送應(yīng)用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 內(nèi)部閥和不銹鋼接頭，可提供額外的泵送介質(zhì)防護(hù)。

二、真空泵樣圖及剖面圖

愛德華渦旋干泵

三、特性與優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設(shè)計相結(jié)合，只需最低程度的特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
改進(jìn)了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
用于實現(xiàn)蒸汽泵送的氣鎮(zhèn)功能（nXDS-C 泵）