HiLobe 1002/1302羅茨泵
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摘要
HiLobe 1002/1302 羅茨泵，采用無油螺桿技術(shù)，抽速 100-130m3/h，極限真空≤1×10?2mbar，適用于半導(dǎo)體、光伏等制造。專利型線轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，振動(dòng)小、噪音低至 65dB，節(jié)能 20%。一體化鑄鐵泵體，耐腐密封，連續(xù)運(yùn)行無故障。配備智能監(jiān)控系統(tǒng)，支持遠(yuǎn)程運(yùn)維，提供 5 年核心部件質(zhì)保及定制化真空系統(tǒng)方案。
產(chǎn)品介紹
HiLobe 1002/1302羅茨泵
技術(shù)規(guī)格ISO
尺寸圖
HiLobe 1002/1302
抽速
HiLobe 1002/1302 羅茨泵 —— 分析及實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域的超高純真空解決方案
專為科研級(jí)真空環(huán)境打造
作為德國原產(chǎn)的干式羅茨泵，HiLobe 1002/1302 以無油壓縮技術(shù)重新定義實(shí)驗(yàn)室真空標(biāo)準(zhǔn)。采用專利的螺旋齒形轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)（齒形精度達(dá) DIN 3 級(jí)），配合零接觸密封結(jié)構(gòu)，從源頭油蒸汽污染，真空系統(tǒng)潔凈度達(dá)到 ISO 8573-1 Class 0 級(jí)，適配質(zhì)譜分析、X 射線光電子能譜（XPS）、電子顯微鏡等對(duì)污染物敏感的精密儀器。
核心性能參數(shù)與技術(shù)突破
寬域抽速覆蓋：100-130 m³/h 抽速范圍，支持從大氣壓到 1×10?² mbar 的連續(xù)真空調(diào)節(jié)，滿足樣品前處理、真空干燥、低溫冷阱等多場景需求
超低振動(dòng)噪音：通過動(dòng)平衡優(yōu)化的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)（殘余不平衡量＜0.5 g?mm/kg）與彈簧阻尼減震底座，運(yùn)行噪音低至 62 dB (A)，為實(shí)驗(yàn)室提供安靜環(huán)境
智能壓力控制：內(nèi)置 Piezo 型真空傳感器（測量精度 ±0.1% FS），配合 PID 閉環(huán)控制系統(tǒng)，真空度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5% 設(shè)定值，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)重復(fù)性
極速響應(yīng)能力：啟動(dòng)至工作真空度（1 mbar）僅需 45 秒，比傳統(tǒng)機(jī)型縮短 50%，顯著提升實(shí)驗(yàn)效率
全場景實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用矩陣
分析儀器前端真空：為 GC-MS、ICP-MS 提供穩(wěn)定真空環(huán)境，離子源背景噪音降低 40%
材料表征系統(tǒng)：適配 AFM、STM 等表面分析設(shè)備，真空腔體極限壓力可達(dá) 5×10?? mbar
樣品制備工藝：用于真空鍍膜、冷凍干燥等前處理環(huán)節(jié)，避免油分子對(duì)樣品的化學(xué)干擾
環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)：支持 - 40℃~120℃寬溫區(qū)真空實(shí)驗(yàn)，泵體表面溫度控制在＜45℃
實(shí)驗(yàn)室專屬價(jià)值配置
緊湊型設(shè)計(jì)（長 × 寬 × 高 = 680×450×520mm），底部集成萬向輪與鎖定裝置，滿足實(shí)驗(yàn)室靈活布局需求
標(biāo)配 RS485/Modbus 通訊接口，可無縫接入實(shí)驗(yàn)室 LIMS 系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程真空度監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄
采用食品級(jí) PTFE 材質(zhì)密封圈，通過 FDA 認(rèn)證，適合醫(yī)藥、食品等行業(yè)的潔凈實(shí)驗(yàn)室
低功耗設(shè)計(jì)（運(yùn)行功率＜1.8kW），年耗電量僅為傳統(tǒng)油泵的 60%
科研級(jí)服務(wù)保障
提供 ISO 17025 認(rèn)證的真空性能檢測報(bào)告，確保設(shè)備參數(shù)可溯源
配備專用防塵罩與實(shí)驗(yàn)室級(jí)降噪隔音箱（可選）
50 + 服務(wù)中心，提供 7×24 小時(shí)技術(shù)支持，關(guān)鍵部件備用件 48 小時(shí)直達(dá)
核心部件質(zhì)保 5 年，包含 3 次免費(fèi)上門校準(zhǔn)服務(wù)
選擇 HiLobe 1002/1302，讓您的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更、過程更、結(jié)果更可靠 —— 科研領(lǐng)域的真空性能標(biāo)桿。
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