SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計

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關(guān)鍵詞：真空計

摘要

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計是制造計量完整性的基礎(chǔ)技術(shù)，非傳統(tǒng)替代品。它以磁懸浮鋼球測壓，NIST 可追溯，抗污染、長期穩(wěn)定（20 年校準(zhǔn)系數(shù)變化 < 0.2%）。適用半導(dǎo)體、鍍膜、顯示面板、光伏等領(lǐng)域，嚴(yán)格控制制程、減少變異，提升良率與質(zhì)量，是高精密制造的可靠之選。

產(chǎn)品介紹

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計

真空計

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計 “替代者” 定位，以計量完整性基礎(chǔ)技術(shù)身份，成為制造的關(guān)鍵支撐設(shè)備。其核心優(yōu)勢在于高度準(zhǔn)確且穩(wěn)定的真空測量能力，可捕捉微小真空波動，為嚴(yán)苛制程控制提供可靠數(shù)據(jù)依據(jù)，從源頭減少工藝變異，直接助力高精密行業(yè)提升產(chǎn)品良率與質(zhì)量。

在半導(dǎo)體制造中，無論是光刻環(huán)節(jié)的真空環(huán)境調(diào)控，還是薄膜沉積工藝的壓力控制，SRG 都能實時輸出高精度數(shù)據(jù)，避免因真空偏差導(dǎo)致的芯片缺陷，保障晶圓生產(chǎn)穩(wěn)定性；鍍膜行業(yè)（如光學(xué)鍍膜、硬質(zhì)鍍膜）中，其穩(wěn)定測量可確保膜層厚度均勻性，減少批次間差異，提升鍍膜產(chǎn)品光學(xué)性能與耐用性；顯示面板制造（如 OLED 柔性屏生產(chǎn)）時，SRG 能維持真空腔體壓力恒定，避免因壓力波動造成的像素不良；光伏行業(yè)的 PERC 電池鈍化層制備工藝中，真空度控制可優(yōu)化鈍化效果，助力提升電池轉(zhuǎn)換效率。

此外，該真空計適配性強(qiáng)，可輕松集成至現(xiàn)有生產(chǎn)系統(tǒng)，支持?jǐn)?shù)據(jù)實時傳輸與追溯，方便工廠實現(xiàn)智能化制程管理；同時具備長期運行穩(wěn)定性，降低頻繁校準(zhǔn)與維護(hù)成本。對于追求工藝精細(xì)化、品質(zhì)高標(biāo)準(zhǔn)化的半導(dǎo)體、鍍膜、顯示面板、光伏企業(yè)而言，SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計不僅是測量設(shè)備，更是提升生產(chǎn)競爭力的核心助力。

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