SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計
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摘要
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計是制造計量完整性的基礎(chǔ)技術(shù),非傳統(tǒng)替代品。它以磁懸浮鋼球測壓,NIST 可追溯,抗污染、長期穩(wěn)定(20 年校準(zhǔn)系數(shù)變化 < 0.2%)。適用半導(dǎo)體、鍍膜、顯示面板、光伏等領(lǐng)域,嚴(yán)格控制制程、減少變異,提升良率與質(zhì)量,是高精密制造的可靠之選。
產(chǎn)品介紹
SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計突破傳統(tǒng)真空計 “替代者” 定位,以計量完整性基礎(chǔ)技術(shù)身份,成為制造的關(guān)鍵支撐設(shè)備。其核心優(yōu)勢在于高度準(zhǔn)確且穩(wěn)定的真空測量能力,可捕捉微小真空波動,為嚴(yán)苛制程控制提供可靠數(shù)據(jù)依據(jù),從源頭減少工藝變異,直接助力高精密行業(yè)提升產(chǎn)品良率與質(zhì)量。
在半導(dǎo)體制造中,無論是光刻環(huán)節(jié)的真空環(huán)境調(diào)控,還是薄膜沉積工藝的壓力控制,SRG 都能實時輸出高精度數(shù)據(jù),避免因真空偏差導(dǎo)致的芯片缺陷,保障晶圓生產(chǎn)穩(wěn)定性;鍍膜行業(yè)(如光學(xué)鍍膜、硬質(zhì)鍍膜)中,其穩(wěn)定測量可確保膜層厚度均勻性,減少批次間差異,提升鍍膜產(chǎn)品光學(xué)性能與耐用性;顯示面板制造(如 OLED 柔性屏生產(chǎn))時,SRG 能維持真空腔體壓力恒定,避免因壓力波動造成的像素不良;光伏行業(yè)的 PERC 電池鈍化層制備工藝中,真空度控制可優(yōu)化鈍化效果,助力提升電池轉(zhuǎn)換效率。
此外,該真空計適配性強(qiáng),可輕松集成至現(xiàn)有生產(chǎn)系統(tǒng),支持?jǐn)?shù)據(jù)實時傳輸與追溯,方便工廠實現(xiàn)智能化制程管理;同時具備長期運行穩(wěn)定性,降低頻繁校準(zhǔn)與維護(hù)成本。對于追求工藝精細(xì)化、品質(zhì)高標(biāo)準(zhǔn)化的半導(dǎo)體、鍍膜、顯示面板、光伏企業(yè)而言,SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計不僅是測量設(shè)備,更是提升生產(chǎn)競爭力的核心助力。

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