CT-D 30-120干式床處理
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摘要
CT-D 30 - 120 干式床處理設備在運行時，除了接入電力供應，僅需壓縮空氣或氮氣用于閥門啟動，設備占地面積小，運行所需空間得到優(yōu)化。其采用的雙壁結構設計，大大提高了設備的運行時間，減少因設備故障導致的停工。內部裝填的特殊顆粒經過精心優(yōu)化，能夠安全且地吸收各類毒性和危害的氣體，像（AsH?）和（PH?）等，通過化學反應將這些有害氣體轉化為附著在顆粒上的非揮發(fā)性無機固體，實現(xiàn)了對有害氣體的且安全的化學吸附。
產品介紹
CT-D 30-120干式床處理
技術規(guī)格ISO
尺寸圖
CT-D 30-120
市場和應用
分析及實驗室
中央真空
實驗室真空
光子學研究
制藥行業(yè)
實驗室真空
半導體應用
PVD
金屬和高 K 蝕刻
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