ATH 1600 M 是普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）生產(chǎn)的一款渦輪分子泵
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摘要
普發(fā)真空 ATH 1600 M 渦輪分子泵，抽速強(qiáng)勁、極限真空度高，運(yùn)行穩(wěn)定且噪音低，適用于半導(dǎo)體、科研等對(duì)真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，為高真空系統(tǒng)提供可靠保障，助力高效生產(chǎn)與實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品介紹
ATH 1600 M 是普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）生產(chǎn)的一款渦輪分子泵。
工作原理
渦輪分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的真空泵，通過高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子驅(qū)向泵的出口方向， 從而達(dá)到抽氣的目的，以獲得高真空或超高真空環(huán)境。
性能特點(diǎn)
高抽速：能夠快速有效地抽除氣體，滿足對(duì)真空度和抽氣速度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景，比如在半導(dǎo)體制造過程中，需要快速建立并維持穩(wěn)定的真空環(huán)境， 它可以高效完成這一任務(wù)。
極限真空度高：可以達(dá)到較高的極限真空水平， 能夠滿足像電子顯微鏡、真空鍍膜、高能物理實(shí)驗(yàn)等對(duì)真空度要求極為苛刻的工作條件。
運(yùn)行穩(wěn)定：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)和制造工藝，具備良好的穩(wěn)定性和可靠性，降低因泵故障導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
低振動(dòng)和低噪音：在運(yùn)行過程中產(chǎn)生的振動(dòng)和噪音較小，有利于保障工作環(huán)境的舒適性，同時(shí)也減少對(duì)周邊精密設(shè)備的干擾。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體芯片制造過程中的光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)， 提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保工藝的精確性和產(chǎn)品質(zhì)量。
科學(xué)研究：在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等科研領(lǐng)域， 如分子束外延、真空電子器件研究等實(shí)驗(yàn)中，為實(shí)驗(yàn)提供高真空條件。
真空鍍膜：在光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜等真空鍍膜行業(yè)，幫助建立和維持鍍膜所需的真空環(huán)境，提高鍍膜質(zhì)量和均勻性 。
分析儀器：為質(zhì)譜儀、電子能譜儀等分析儀器提供真空環(huán)境，保證儀器的正常運(yùn)行和檢測(cè)精度。
渦輪分子泵（如普發(fā)真空的渦輪分子泵等相關(guān)型號(hào)）對(duì)不同氣體（氮?dú)?/span>N2、氦氣
He、氫氣H2、氬氣Ar）的抽速 - 入口壓力特性曲線。
曲線解讀
橫坐標(biāo)（p）：表示泵的入口壓力，單位是百帕（hPa）。
縱坐標(biāo)（S）：表示泵對(duì)相應(yīng)氣體的抽速，單位是升每秒（l/s）。
不同氣體曲線：不同顏色曲線分別對(duì)應(yīng)不同氣體， 能直觀展現(xiàn)出在不同入口壓力下，渦輪分子泵對(duì)各氣體抽速的變化規(guī)律。例如，從曲線可看出，在一定壓力范圍內(nèi)，渦輪分子泵對(duì)氮?dú)獾某樗傧鄬?duì)較高，而對(duì)氫氣等氣體抽速有不同的變化趨勢(shì)。
作用
這類曲線主要用于幫助用戶了解渦輪分子泵在不同工作壓力和不同氣體種類下的抽氣性能， 以便在實(shí)際應(yīng)用（如真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選擇合適的真空泵匹配氣體類型和工作壓力等場(chǎng)景）中，根據(jù)具體需求選擇和優(yōu)化泵的使用，確保真空系統(tǒng)能高效運(yùn)行。
真空設(shè)備（如真空泵等）的流量 - 入口壓力特性曲線，展示流量隨入口壓力的變
化規(guī)律。
真空設(shè)備部件尺寸圖，顯示了帶有 DN 40 ISO KF 規(guī)格出口的部件外形尺寸
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