普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum） A200L 多級羅茨真空泵
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摘要
普發(fā)真空 A200L 多級羅茨真空泵，性能卓越。具備高抽速，能快速建立真空環(huán)境，工作效率高。采用先進技術，運行穩(wěn)定可靠，噪音低 。結構緊湊，安裝維護便捷。適用于半導體制造、真空鍍膜等多領域，為您的真空需求提供專業(yè)可靠的解決方案。
產品介紹
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）品牌的 A200L 多級羅茨真空泵。多級羅茨真空泵常用于需要快速抽氣和達到較高真空度的場合， 比如在真空鍍膜、半導體制造、化工制藥等工業(yè)領域，以及科研實驗中的真空系統，可有效抽取氣體，營造滿足工藝要求的真空環(huán)境。
普發(fā)真空 A200L 是專為潔凈制程打造的高性能多級羅茨真空泵，額定抽速達 200 m³/h，能快速建立穩(wěn)定真空環(huán)境，極限壓力可低至 10?? hPa，滿足高氣流量應用需求。
采用無接觸式轉子設計，壓縮腔體無需潤滑油，可生成無油無顆粒的潔凈真空，適配半導體制造、真空鍍膜、光伏等對環(huán)境要求嚴苛的場景。結構緊湊且支持水平 / 垂直進氣口連接，能無縫集成至現有系統，大幅降低安裝調試成本。
運行時噪音與振動極低，平均故障間隔超 195000 小時，兼具低能耗與高可靠性，是 Load lock 腔、傳送室等場景的理想選擇。, 50/60 Hz
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