普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum) A200L 多級羅茨真空泵
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摘要
普發(fā)真空 A200L 多級羅茨真空泵,性能卓越。具備高抽速,能快速建立真空環(huán)境,工作效率高。采用先進技術,運行穩(wěn)定可靠,噪音低 。結構緊湊,安裝維護便捷。適用于半導體制造、真空鍍膜等多領域,為您的真空需求提供專業(yè)可靠的解決方案。
產品介紹
普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)品牌的 A200L 多級羅茨真空泵。多級羅茨真空泵常用于需要快速抽氣和達到較高真空度的場合, 比如在真空鍍膜、半導體制造、化工制藥等工業(yè)領域,以及科研實驗中的真空系統,可有效抽取氣體,營造滿足工藝要求的真空環(huán)境。

普發(fā)真空 A200L 是專為潔凈制程打造的高性能多級羅茨真空泵,額定抽速達 200 m³/h,能快速建立穩(wěn)定真空環(huán)境,極限壓力可低至 10?? hPa,滿足高氣流量應用需求。
采用無接觸式轉子設計,壓縮腔體無需潤滑油,可生成無油無顆粒的潔凈真空,適配半導體制造、真空鍍膜、光伏等對環(huán)境要求嚴苛的場景。結構緊湊且支持水平 / 垂直進氣口連接,能無縫集成至現有系統,大幅降低安裝調試成本。
運行時噪音與振動極低,平均故障間隔超 195000 小時,兼具低能耗與高可靠性,是 Load lock 腔、傳送室等場景的理想選擇。, 50/60 Hz
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