HiPace 700 M渦輪分子真空泵

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關(guān)鍵詞：渦輪分子真空泵

摘要

德國(guó)普發(fā) HiPace 700 M 磁懸浮渦輪分子泵，685 l/s 氮?dú)獬樗俅钆?< 7.5x10?? torr 極限真空。5 軸磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無(wú)油低振（45 dBA）、免維護(hù)運(yùn)行，支持任意方向安裝。IP54 防護(hù) + 半導(dǎo)體認(rèn)證，適配鍍膜、半導(dǎo)體及粒子加速等場(chǎng)景，RS485 智能監(jiān)控，節(jié)能更可靠。

產(chǎn)品介紹

HiPace 700 M渦輪分子真空泵

渦輪分子真空泵

技術(shù)規(guī)格ISO

渦輪分子真空泵

抽速

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HiPace 700 M 渦輪分子真空泵：制造的真空核心解決方案

德國(guó)普發(fā) HiPace 700 M 磁懸浮渦輪分子泵，以性能成為半導(dǎo)體、鍍膜等精密制造領(lǐng)域的核心真空設(shè)備。其 685 l/s 的氮?dú)獬樗倥c < 7.5x10?? torr 的極限真空度，搭配 Semi S2 與 UL/CSA ，滿足嚴(yán)苛的潔凈制程要求。

采用創(chuàng)新 5 軸磁懸浮軸承技術(shù)，實(shí)現(xiàn)完全無(wú)油運(yùn)行，從根源污染風(fēng)險(xiǎn)。45 dBA 的超低噪音與穩(wěn)定運(yùn)行特性，確保對(duì)振動(dòng)敏感的光刻、離子注入等工藝不受干擾。相較于傳統(tǒng)軸承設(shè)計(jì)，其復(fù)合軸承結(jié)構(gòu)將保養(yǎng)間隔延長(zhǎng)至 4 年，顯著降低維護(hù)成本。

智能控制系統(tǒng)是核心優(yōu)勢(shì)之一：TC 400 驅(qū)動(dòng)單元與 OmniControl 400 遠(yuǎn)程控制器通過(guò) RS485 接口實(shí)現(xiàn)全參數(shù)監(jiān)控，支持振動(dòng)預(yù)警與遠(yuǎn)程操作。獨(dú)特的 “間斷模式” 可根據(jù)前級(jí)真空壓力自動(dòng)啟停輔助設(shè)備，能源消耗降低 90% 以上，適配綠色工廠需求。

針對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景優(yōu)化設(shè)計(jì)：1×10¹¹ 的氬氣壓縮比與 4×10?的氫氣壓縮比，確保小分子氣體處理，特別適合 CVD/PVD 薄膜沉積工藝；IP54 防護(hù)等級(jí)與耐化學(xué)腐蝕設(shè)計(jì)，從容應(yīng)對(duì)顯示屏制造等復(fù)雜環(huán)境。15.7-20.8kg 的輕量化機(jī)身支持任意方向安裝，適配各類真空系統(tǒng)集成。

依托普發(fā)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，提供 7×24 小時(shí)技術(shù)支持與原廠維修服務(wù)，配合 49200rpm 高穩(wěn)定性轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，大幅降低設(shè)備停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。從芯片制造到材料研發(fā)，HiPace 700 M 以低能耗、長(zhǎng)壽命、高潔凈的綜合優(yōu)勢(shì)，為制造企業(yè)打造全生命周期成本的真空解決方案。

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