COBRA DS 3181 C干式螺桿真空泵

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關(guān)鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵
專為平板顯示器生產(chǎn)設(shè)計(jì)，零油污染結(jié)構(gòu)油蒸汽干擾，適配 OLED 蒸鍍、ITO 濺射等高精度工藝，達(dá) 8K 面板標(biāo)準(zhǔn)。支持 8.5 代線基板連續(xù)生產(chǎn)，稼動(dòng)率超 90%，免維護(hù)減 90% 運(yùn)維成本，耐腐材質(zhì)壽命達(dá) 8 年，5 分鐘實(shí)現(xiàn)預(yù)真空，是面板廠商新建 / 升級(jí)產(chǎn)線的真空方案。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 3181 C干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

適用于高要求工藝的新一代干式真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 3181 C

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵 —— 平板顯示器生產(chǎn)的潔凈真空解決方案

作為平板顯示器（FPD）制造領(lǐng)域的核心真空設(shè)備，COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵憑借零油污染設(shè)計(jì)與超高真空性能，成為 OLED/LCD 面板生產(chǎn)的理想選擇。其無(wú)油工作腔結(jié)構(gòu)從根源油蒸汽污染，適配顯示制造中有機(jī)材料蒸鍍、ITO 透明導(dǎo)電層濺射等對(duì)潔凈度要求苛刻的工藝，確保像素精度與薄膜導(dǎo)電性達(dá)到 8K 分辨率面板生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。

在核心應(yīng)用場(chǎng)景中，該設(shè)備展現(xiàn)出極強(qiáng)的工藝適配性：OLED 蒸鍍環(huán)節(jié)可穩(wěn)定維持 10?? mbar 高真空環(huán)境，有效防止有機(jī)材料氧化失效；液晶灌注工序中快速排除氣泡，使面板顯示一致性提升 30% 以上；磁控濺射鍍膜時(shí)控制腔室壓力，保障 ITO 薄膜透光率達(dá) 92% 以上。針對(duì)顯示產(chǎn)業(yè)大尺寸基板趨勢(shì)，其大抽氣量設(shè)計(jì)支持 8.5 代線玻璃基板（2200mm×2500mm）連續(xù)生產(chǎn)，稼動(dòng)率穩(wěn)定在 90% 以上，顯著提升產(chǎn)線效率。

設(shè)備還具備顯著的運(yùn)營(yíng)優(yōu)勢(shì)：免維護(hù)結(jié)構(gòu)減少 90% 運(yùn)維成本，無(wú)油設(shè)計(jì)省去廢油處理環(huán)節(jié)，符合 ISO 14001 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)；耐腐蝕性材質(zhì)可應(yīng)對(duì)顯示制造中的特種工藝氣體，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命至 8 年以上；5 分鐘內(nèi)可實(shí)現(xiàn) 5×10?³ Pa 預(yù)真空，滿足產(chǎn)線快速換型需求。

無(wú)論是顯示面板廠商的新建產(chǎn)線，還是現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造，COBRA DS 3181 C 都能提供兼具潔凈度、效率與經(jīng)濟(jì)性的真空解決方案，助力企業(yè)在顯示技術(shù)迭代中搶占先機(jī)。

COBRA DS 3181 C 干式螺桿真空泵 —— 平板顯示生產(chǎn)的核心技術(shù)裝備

作為平板顯示器（FPD）制造的關(guān)鍵真空設(shè)備，COBRA DS 3181 C 憑借硬核技術(shù)優(yōu)勢(shì)，成為 OLED、LCD 面板產(chǎn)線的方案。其核心技術(shù)亮點(diǎn)集中在潔凈真空控制與適配能力兩大維度，契合顯示生產(chǎn)對(duì)精度、穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

在潔凈技術(shù)上，設(shè)備采用無(wú)油式螺桿腔體設(shè)計(jì)，從技術(shù)根源油蒸汽污染 —— 這一特性對(duì) OLED 有機(jī)材料蒸鍍工藝至關(guān)重要，能穩(wěn)定維持 10?? mbar 高真空環(huán)境，避免有機(jī)發(fā)光層氧化失效，保障 8K 分辨率面板的像素發(fā)光一致性，良率提升超 15%。針對(duì) ITO 透明導(dǎo)電層濺射工藝，其高精度壓力控制系統(tǒng)可將腔室壓力波動(dòng)控制在 ±0.1 Pa 內(nèi)，確保薄膜厚度均勻性，使透光率穩(wěn)定達(dá) 92% 以上，滿足顯示面板的光學(xué)性能標(biāo)準(zhǔn)。