DOLPHIN LM 0100–0270 A液環(huán)真空泵和壓縮機(jī)
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摘要
Busch 普旭 DOLPHIN LM 0100–0270 A 液環(huán)真空泵和壓縮機(jī)，抽速 100-270m3/h，真空壓力低至 33hPa、壓縮壓力達(dá) 0.9MPa。液環(huán)設(shè)計(jì)耐水汽與腐蝕性氣體，無油潔凈運(yùn)行，適配化工蒸餾、制藥干燥等場(chǎng)景，低噪節(jié)能且易維護(hù)，適配多產(chǎn)線集成。
產(chǎn)品介紹
DOLPHIN LM 0100–0270 A液環(huán)真空泵和壓縮機(jī)
采用久經(jīng)驗(yàn)證的工作原理和現(xiàn)代設(shè)計(jì)
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸圖
DOLPHIN LM 0100–0270 A
抽速
干燥空氣溫度在 20 ℃ 時(shí)， 工作液：水，15 ℃， 公
差：-10%，符合 HEI 和 Pneurop
6612
在平板顯示器生產(chǎn)中，Load lock 腔體作為晶圓 / 玻璃基板傳輸?shù)年P(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)真空系統(tǒng)的抽速、潔凈度及穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛，COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺桿真空泵正是為此場(chǎng)景量身打造的解決方案。
其 7000-7385m³/h 的超大抽速，能快速將 Load lock 腔體從常壓抽至目標(biāo)真空度（極限壓力低至 0.001hPa），大幅縮短腔體開關(guān)門后的抽氣周期，配合集成真空助力器，控制壓力波動(dòng)，避免基板在傳輸過程中因真空不穩(wěn)定出現(xiàn)位置偏移，保障顯器生產(chǎn)節(jié)拍連貫。
針對(duì)平板顯器制程中 Load lock 腔體可能殘留的微量顆粒與蒸汽，設(shè)備采用干式無油設(shè)計(jì)，從源頭油蒸汽污染，避免基板表面出現(xiàn)油污瑕疵，同時(shí)耐顆粒結(jié)構(gòu)可減少雜質(zhì)堵塞風(fēng)險(xiǎn)；水冷系統(tǒng)能穩(wěn)定控制泵體溫度，即便 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行也能保持性能穩(wěn)定，降低維護(hù)頻次與成本。
此外，緊湊的機(jī)身結(jié)構(gòu)適配 Load lock 腔體周邊有限的安裝空間，無需復(fù)雜改造即可快速集成，無論是 LCD 還是 OLED 顯器生產(chǎn)線，都能輕松適配，為平板顯示器企業(yè)提升產(chǎn)能、保障產(chǎn)品良率提供可靠真空支持。
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