COBRA DS 2141 A干式螺桿真空泵

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關(guān)鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

DOLPHIN LR 0420/0580 A 液環(huán)真空泵
適配化工、制藥、發(fā)電等多工業(yè)場(chǎng)景，DOLPHIN LR 0420/0580 A 液環(huán)真空泵以液環(huán)技術(shù)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定抽氣，耐蝕材質(zhì)輕松應(yīng)對(duì)復(fù)雜介質(zhì)。結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)易維護(hù)，運(yùn)行低耗節(jié)能，能長(zhǎng)效保障真空需求，助力企業(yè)降低運(yùn)維成本、提升生產(chǎn)效率，是工業(yè)真空系統(tǒng)的高可靠選型。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 2141 A干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 2141 A

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

為匹配半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng) “超高潔凈、耐蝕穩(wěn)定、精密適配” 的嚴(yán)苛要求，COBRA DS 2141 A 干式螺桿真空泵專為半導(dǎo)體核心制程定制，可廣泛應(yīng)用于晶圓刻蝕、薄膜沉積（PVD/CVD）、離子注入、芯片封裝測(cè)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，是保障半導(dǎo)體制程良率的核心設(shè)備。

其采用無油干式螺桿設(shè)計(jì)，從根源油蒸汽污染，符合 ISO 14644-1 Class 1 級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，避免晶圓表面因油污殘留導(dǎo)致的良率損耗；針對(duì)制程中常見的 Cl?、NF?等腐蝕性氣體，泵腔選用哈氏合金與 PTFE 復(fù)合涂層，耐蝕性提升 300%，使用壽命可達(dá) 12000 小時(shí)以上，大幅降低設(shè)備更換成本。

真空性能上，極限真空度達(dá) 10?³Pa，抽氣速率穩(wěn)定且響應(yīng)迅速，能快速建立并維持高真空環(huán)境，保障刻蝕線寬均勻性、薄膜沉積厚度精度；同時(shí)優(yōu)化低振動(dòng)結(jié)構(gòu)（振動(dòng)量≤2mm/s）與靜音電機(jī)（運(yùn)行噪音≤65dB），避免干擾周邊光刻機(jī)、探針臺(tái)等精密設(shè)備。

設(shè)備符合 SEMI S2/S3 半導(dǎo)體安全標(biāo)準(zhǔn)，模塊化設(shè)計(jì)讓核心部件拆裝無需整機(jī)拆解，維護(hù)時(shí)間縮短 50%，減少生產(chǎn)線停機(jī)損耗；搭配智能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)反饋與遠(yuǎn)程運(yùn)維。現(xiàn)提供 7×24 小時(shí)技術(shù)支持、上門安裝調(diào)試及 18 個(gè)月質(zhì)保，為半導(dǎo)體企業(yè)降本增效、穩(wěn)定產(chǎn)能提供可靠保障。

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