HiPace 800 H渦輪分子真空泵
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HiPace 700 P渦輪分子真空泵
摘要
HiPace 800 H 渦輪分子真空泵抽速強(qiáng)勁，氮?dú)獬樗俑哌_(dá) 790 l/s ，面對不同氣體展現(xiàn)出抽氣能力，如氬氣抽速達(dá) 770 l/s ，氫氣為 320 l/s ，氦氣則是 595 l/s 。在壓縮比上表現(xiàn)，對于氬氣、氮?dú)鈮嚎s比大于 1×1011 ，氫氣達(dá) 4×10? ，氦氣為 3×10? 。其極限壓力低至 1×10?? mbar ，能夠營造超高真空環(huán)境，滿足高精度實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)需求。
產(chǎn)品介紹
HiPace 800 H渦輪分子真空泵
技術(shù)規(guī)格ISO
抽速
市場和應(yīng)用
分析及實(shí)驗(yàn)室
高能物理，超高真空
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD檢驗(yàn)與計(jì)量
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散光刻技術(shù)
氧化物蝕刻，剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸輕沉積離子注入
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